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在創新中心中可用的後段設備與客戶在自己設施中使用的設備的對比。
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燒結
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快速熱震 - 直列式
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鐳射邊緣隔離
X
燒結爐和乾燥器
工業標準 CF 系列金屬化爐
嚴格熱能控制
高產出
高屈服強度 - 無斷裂
外形匹配
UltraflexTM 乾燥及燒結爐
新一代的技術
微區技術
快速熱能升溫達 175°C/秒
增強的冷卻達 250°C/秒
波長調諧的燒結過程
無限的外形靈活性
快速熱震(消除曲度)
IL-RTS 快速熱震
該款革命性的工具的特性是一種簡單、直列式製程,向太陽能電池一個低溫熱脉衝,無需使用低曲度膏劑。
消除晶圓曲度,而不降低效率
客戶可以測試晶圓,瞭解是否可減少曲度
AG 和 AL 螢幕列印機
AG 和 AL 螢幕列印機
一種非常靈活的生產列印機,安裝在一個長方形框架內,配備了往複式色帶盒。
小規模生產,300-400 個晶圓/小時
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