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專業解決方案

磁性退火
Despatch 的磁性退火工具用於製造數據存儲業的記錄磁頭以及半導體應用的 MRAM 裝置的磁性退火過程。
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這些工具被世界各地的公司廣泛使用,實現更嚴格的過程控制和監測,提供了比市場上的其他工具更大的靈活性。卓越的晶圓溫度控制均勻性(精度高於 +/- 1º C)極大地提高了產品的產出。快速的加熱和冷卻速率還實現了大大低於其他工具的週期時間。此外,我們的工具還可以進行配置,以提供深度真空水準,溫度可達 500º C,磁場可達 2.0 特斯拉

自定義構型可使員工在將產品載入爐中之前掃描爐批號。爐腔中的光敏感測器可確認產品的存在。操作員隨後選擇所需的處理參數并執行顯示的提示。如果在循環完成之前,循環被中斷或爐門被打開,系統邏輯電路發出警報聲並鎖定爐控制器。

AST-3100 自動聚醯亞胺固化

為晶圓級自動化處理設計的 Despatch AST-3100 可容納 200 mm 和 300 mm 的晶圓。該自動化聚醯亞胺固化工具可提高產量並杜絕搬運錯誤,同時節省寶貴的爐內面積。

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